Moltes desviacions de mesura a les estacions d'inspecció de precisió no provenen d'una precisió insuficient de lents o sensors d'inspecció, sinó de microvibracions contínues de baixa freqüència transmeses des de la fàbrica. El funcionament del compressor d'aire, l'arrencada i la parada de les màquines circumdants i el moviment de vianants generen aquestes vibracions de baixa freqüència. L'amplitud és petita però contínua, pertorba la referència de mesura repetidament i provoca dades inconsistents per a diverses proves a la mateixa peça de treball. Per a la inspecció òptica de semiconductors i la mesura dimensional de precisió, la repetibilitat de les dades serveix com a indicador bàsic per avaluar la fiabilitat dels equips. Les plataformes metàl·liques ordinàries presenten una alta rigidesa però un amortiment feble. Una vegada que la vibració de baixa freqüència entra a la taula, oscil·la durant molt de temps sense atenuació ràpida i amplifica directament les fluctuacions de mesura. UNPARALLELED Group fabrica taulells de precisió de granit negre UNPARALLELED®. Utilitza la propietat d'amortiment natural del material per bloquejar la transmissió de vibracions de baixa freqüència i mantenir resultats consistents per a mesures repetides.
La vibració de baixa freqüència als tallers es transmet principalment cap amunt a través de la base del sòl i pertany al tipus d'interferència ambiental més difícil d'aïllar. Les taules de metall i aliatge d'alumini amb prou feines absorbeixen la vibració; l'energia de vibració reverbera contínuament a la superfície de la taula. La densa estructura de cristall dins del granit d'alta densitat consumeix energia cinètica de vibració, dissipant ràpidament l'energia de vibració de baixa freqüència i suprimint la propagació de vibració contínua. El substrat adopta granit negre amb una densitat d'uns 3100 kg/m³ i un baix coeficient d'expansió tèrmica, de manera que la deformació induïda per la fluctuació de temperatura és mínima. La pedra crua pateix un envelliment a granel en l'etapa de la matèria primera per alliberar l'estrès natiu acumulat durant l'extracció i el transport. Fins i tot sota pertorbacions contínues de baixa freqüència a llarg termini, la forma de referència de la taula no es deformarà lentament amb el temps, garantint l'estabilitat a llarg termini del rendiment d'amortiment de vibracions i la precisió geomètrica.
En l'etapa de disseny estructural, els enginyers realitzen anàlisis modals combinades amb condicions in situ per evitar la banda d'excitació de baixa freqüència dels tallers i prevenir riscos de ressonància. La ressonància pot multiplicar la vibració feble de baixa freqüència del sòl i destruir completament la repetibilitat de la mesura. A partir de les dades de prova de vibració in situ dels clients, optimitzem el gruix de la taula i la disposició dels punts de suport per distribuir la força provocada per la vibració externa. Hi ha disponible mecanitzat personalitzat de forats de topologia lleugera. Mentre manté la rigidesa general sense canvis, ajusta la freqüència natural de la taula per mantenir-se allunyat de la gamma de vibracions de baixa freqüència dels tallers. El sistema de suport de la taula també es pot equipar amb components de reducció de vibracions coincidents per formar una estructura d'aïllament de vibració doble i debilitar encara més la transmissió ascendent de la vibració de baixa freqüència del sòl, adequat per a fàbriques amb fortes interferències de vibració subjacents.
Tot el procés d'acabat es completa en un taller de temperatura constant, humitat constant i antivibració. El sòl del taller té un gruix superior a 1.000 mm, està equipat amb trinxeres independents a prova de cops i grues silencioses per evitar que la vibració externa introdueixi errors de topografia superficial durant el mòlta. La tecnologia d'envelliment per etapes s'adopta en el processament. Després de cada ronda de mòlta, la peça es manté estàtica per alliberar l'estrès de mecanitzat i evitar l'acumulació d'estrès dins de la pedra. Després de la fabricació, es realitzen proves especials de resposta modal i de vibració per simular l'excitació de vibracions de baixa freqüència durant molt de temps als tallers, recopilar dades d'atenuació de vibracions i avaluar l'efecte de supressió de la taula sobre la vibració de baixa freqüència. Utilitzem interferòmetres làser, comparadors Mahr de 0,5 μm i nivells electrònics Swiss WYLER per a la inspecció. Tota la cadena de metrologia és traçable a l'institut nacional de metrologia amb certificats de calibratge complets.
Per a les condicions de treball de la sala neta, la taula es pot processar amb segellat, passivació i poliment mirall per segellar els microporus de pedra i reduir la precipitació de partícules. Compleix els requisits de la sala blanca alhora que aïlla les vibracions. Aquesta solució no es basa simplement en el pes propi per a la supressió de vibracions. En lloc d'això, és una solució integrada de reducció de vibracions que combina material, estructura, control de l'estrès i verificació de vibracions prèvia al lliurament.
Per als equips d'inspecció de precisió, la repetibilitat de la mesura determina directament el rendiment del producte i la fiabilitat del judici d'inspecció. La vibració externa de baixa freqüència està oculta i continua. El seu impacte difícilment es pot detectar en una sola mesura, i la dispersió de dades només es pot exposar després de múltiples proves de mostreig. Amb una excel·lent capacitat de dissipació d'energia, les taules de granit sense paral·lel bloquegen eficaçment les microvibracions de baixa freqüència als tallers i estabilitzen els punts de referència de mesura. Manté la fluctuació de dades de mesures repetides dins d'un rang extremadament petit i proporciona bases de mesura estables i fiables per a tot tipus d'equips d'inspecció d'alta precisió.