Els sistemes de moviment de coixinets d'aire aconsegueixen una levitació sense fricció mitjançant una pel·lícula d'aire fina de micres. La precisió de posicionament i el moviment suau de tota la plataforma estan totalment determinats per la topografia de la superfície i l'estabilitat a llarg termini de la superfície de referència de granit. Molts constructors de màquines passen per alt el fet que l'espai de la pel·lícula d'aire és extremadament petit. Les petites ondulacions o la deformació de l'esforç residual a la taula pertorbaran el camp de pressió de l'aire, provocant una deriva de l'actitud i una mala repetibilitat del posicionament durant el moviment a alta velocitat dels tobogans de coixinets d'aire. Les plataformes de granit ordinàries amb un simple compliment de planitud no són suficients per combinar els mòduls de coixinets d'aire. La taula de treball de precisió de granit UNPARALLELED® per a coixinets d'aire està especialment desenvolupada per a guies de coixinets d'aire i sistemes de moviment lliscant de coixinets d'aire. El flux de treball complet, que inclou la selecció de materials, l'envelliment per estrès, la mòlta i la inspecció de l'àrea completa, està personalitzat per a condicions de treball de levitació de l'aire sense fricció.
Adopta granit negre UNPARALLELED® amb una densitat d'aproximadament 3100 kg/m³. Presenta una baixa expansió tèrmica, de manera que el canvi dimensional és mínim sota una lleugera fluctuació de la temperatura ambient. La seva alta característica d'amortiment absorbeix ràpidament les microvibracions de l'arrencada-parada de l'equip i la transmissió del sòl i redueix les pertorbacions a l'estabilitat de la pel·lícula d'aire. La pedra crua experimenta un envelliment a granel abans del mecanitzat per alliberar l'estrès intern natiu per endavant. Fins i tot si el taulell s'enfonsa, els forats de localització i les ranures del carril magnètic estan premecanitzats a la taula, l'estrès induït pel mecanitzat s'alliberarà gradualment mitjançant un envelliment gradual. La topografia de la superfície no es deformarà lentament en funcionament continu a llarg termini, mantenint una separació uniforme de la pel·lícula d'aire amb el pas del temps.
La mòlta d'ultra precisió de la taula s'acaba en un taller antivibració a temperatura constant i humitat. El sòl del taller té un gruix superior a 1000 mm, està equipat amb trinxeres independents a prova de cops i grues aèries silencioses per aïllar la interferència de vibracions externes i evitar els errors d'ondulació de la superfície generats durant la mòlta. Per al mecanitzat s'apliquen grans equips CNC i grans rectificadores NT. La superfície de referència de l'àrea completa arriba a la planitud nanomètrica i la precisió de posició dels forats i ranures de muntatge es controla a un nivell d'1 μm. En lloc de comprovar només diversos punts diagonals, adoptem la inspecció d'exploració contínua de graella completa. Els interferòmetres làser, els indicadors de marca Mahr alemanys de 0,5 μm i els nivells electrònics suís WYLER capturen dades de topografia completes per avaluar l'error de planitud de llarg abast i l'ondulació superficial d'ona curta. Tota la cadena de metrologia és traçable fins a l'institut nacional de metrologia i es proporcionen certificats de calibratge complets per a cada taula de treball.
Hi ha disponible mecanitzat estructural personalitzat. Els aixetes, les ranures magnètiques i els forats de fixació es poden mecanitzar segons la disposició dels coixinets d'aire per a la instal·lació incrustada d'escales de reixeta, rails magnètics i bases de fixació, garantint referències de muntatge unificades. El mecanitzat personalitzat de forats de topologia lleugera es pot processar sense danyar la planitud de referència ni la rigidesa estructural per reduir el pes mort i millorar la resposta dinàmica. Per a les sales netes de les indústries d'inspecció òptica i de semiconductors, el taulell es pot tractar amb segellat, passivació i poliment de mirall per segellar els microporus de pedra, reduir la precipitació de partícules i evitar que les partícules dures rasquin els coixinets d'aire i interfereixin amb la formació de pel·lícules d'aire.
Abans del lliurament, es realitzen proves de vibració modal i deformació tèrmica per simular el moviment alternatiu llarg de les corredisses d'aire i verificar l'estabilitat de la superfície sota excitació contínua. A diferència de les taules de treball normals de granit, aquest producte se centra no només en la precisió geomètrica estàtica, sinó en mantenir la pel·lícula d'aire uniforme de manera dinàmica i eliminar la fluctuació d'alçada i la fluctuació d'actitud mentre les diapositives viatgen a gran velocitat.
El sostre de rendiment de les plataformes de moviment d'aire a nivell nanòmetre es defineix per la superfície de referència de granit. Difícilment es poden detectar ondulacions superficials menors o deformacions d'esforç posteriors en la inspecció estàtica, però s'amplificaran contínuament durant el moviment de la diapositiva i reduiran directament la repetibilitat del posicionament. Amb un substrat estable, un alleujament de l'estrès de pedra crua i una inspecció de topografia completa, la taula de treball de precisió de granit sense paral·lel per a coixinets d'aire ofereix una base de referència estable i uniforme per als mòduls de coixinets d'aire, assegurant que els sistemes de moviment de coixinets d'aire sense fricció mantenen un rendiment de posicionament fiable durant una operació llarga sense parar.