1. Alta rigidesa-a-Ratio de pes per a dinàmiques d'alta-velocitat
En la litografia i l'enllaç, els components s'han de moure a altes velocitats amb zero retard. Les ceràmiques avançades proporcionen una rigidesa extrema (Mòdul de Young elevat) alhora que són significativament més lleugeres que l'acer. Això redueix la inèrcia, permetent una acceleració i desacceleració més ràpides sense comprometre la precisió de posicionament en els sistemes de manipulació d'hòsties.
2. Conductivitat tèrmica i estabilitat inigualables
Els processos semiconductors generen calor localitzat. Materials com el carbur de silici ofereixen una excel·lent conductivitat tèrmica, dissipant ràpidament la calor per evitar la deformació local. Això garanteix que els mandrils de buit de ceràmica i les etapes d'hòsties romanguin perfectament plans, mantenint el pla focal durant els passos crítics d'exposició UV.
3. Resistència al desgast i inèrcia química
La ceràmica és gairebé tan dura com els diamants. Aquesta resistència al desgast garanteix que les peces mòbils tinguin una vida útil increïblement llarga sense generar partícules. A més, la seva inèrcia química els fa compatibles amb gasos de gravat durs i agents de neteja utilitzats en el processament de semiconductors-frontal.
Comparació de materials ceràmics
| Propietat | Alúmina (Al2O3) | Carbur de silici (SiC) |
| Duresa Vickers | 1500 HV | 2500+ HV |
| Mòdul elàstic | 350 GPa | 450 GPa |
| Termal Cond. | 30 W/m·K | 150+ W/m·K |
Preguntes freqüents: preguntes clau respostes
Per què utilitzar SiC en lloc d'alúmina? El SiC té una rigidesa més alta i una millor conductivitat tèrmica, tot i que és més costós.
Les peces de ceràmica són fràgils? Tot i que són trencadissos, la seva resistència a la compressió és massiva, cosa que els fa ideals per a càrregues de precisió.
Quines indústries fan servir aquesta ceràmica? Principalment indústries de semiconductors, aeroespacial i tall per làser.
Es poden produir formes ceràmiques personalitzades? Sí, oferim mecanitzats de ceràmica OEM personalitzats per a components mecànics complexos.
Quina és la mida màxima? Podem produir peces estructurals ceràmiques a gran-escala de fins a 1.000 mm o més mitjançant unió segmentada.
La ceràmica requereix una neteja especial? Són altament resistents als productes químics, cosa que els fa molt fàcils de netejar per a ús en sala blanca.